题目内容
（请给出正确答案）
[单选题]
为什么IMP 之后要有thermal anneal（）
A.Ion Imp 容易造成damage， 需要anneal 修复
B.rive in dopant
C.离子活化
答案
C、离子活化
如果结果不匹配，请 联系老师 获取答案
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答案
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A.Ion Imp 容易造成damage， 需要anneal 修复
B.rive in dopant
C.离子活化
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