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第9题
直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料，并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统，它包括()、保
直拉单晶炉的热系统是指为了熔化硅料，并保持在一定温度下进行单晶生长的整个系统，它包括（)、保
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温罩、()、电极等主要部件。影响热场温度梯度的因素有()、保温层、加热器和托碗厚度、()、()、()和热屏位置等。
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