题目内容
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[主观题]
在特定的温度压力下物质可以以气、液、固三态共存,此时的压力温度称为()。
在特定的温度压力下物质可以以气、液、固三态共存,此时的压力温度称为()。
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A.在沉积温度下,反应物具有足够高的蒸气压,并能以适当的速度被引入反应室
B.反应产物除了形成固态薄膜物质外,都必须是挥发性的
C.沉积薄膜和基体材料必须具有足够低的蒸气压,以保证在反应中能保持在受热的基体上,不会挥发
D.作为涂层的分解或还原产物在作业温度下必须是易挥发的固相物质